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簡要描述:等離子清洗機1、采用射頻電源、自動匹配器,一鍵式操控。2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。3、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗。4、可處理形狀復(fù)雜的材料,材料表面處理的均勻性好。5、適用性廣,各種材料、形狀都可以處理。
產(chǎn)品分類
詳細介紹
品牌 | LEBO/雷博 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,綜合 |
設(shè)備的優(yōu)點:
1、采用射頻電源、自動匹配器,一鍵式操控。
2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。
3、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗。
4、可處理形狀復(fù)雜和微細結(jié)構(gòu)的材料。
設(shè)備的參數(shù):
腔體材質(zhì) :鋁合金
供電電源 : AC220V、1000W
濺射電壓:MAX 2500V
濺射電流:MAX 30mA
靶材尺寸:直徑57mm,厚度0.1~0.5mm
射頻電源功率: 0-300W可調(diào)
射頻頻率: 13.56MHz
真空度:≤100Pa
氣體路數(shù):2路
氣體流量:MFC氣體質(zhì)量流量計 500SCCM(可調(diào))
控制: 觸屏
清洗時間:1-6000s連續(xù)可調(diào)
處理尺寸:≤8寸
內(nèi)腔尺寸:226mm(長)*126mm(高)*224mm(深)
外形尺寸: 620mm*560mm*410mm(寬*深*高)
重量:≈38KG
真空泵:飛越ARV-4
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